配制液态掺杂剂稀溶液的气体载运方法及其装置<%=id%>

，再流经外延淀积用的基质液瓶，载入基质液中的掺杂剂量可得到精确控制。本法操作简便，避免了配液过程中氯化物的水解、氧化等空气污染及对人体的毒害，解决了那些室温下就沸腾的掺杂剂（如ＢＣｌ3）的配制问题，同时对掺杂剂有一定提纯功效。
. 主权项　.
. 配制液态掺杂剂的稀溶液，把极少量高纯掺杂剂加入到少量超纯基质液中，本方法的特征是通过载气携运完成。
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中国科技资讯网
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