改进的电弧汽相淀积方法及设备<%=id%>

使阴极亮点维持在露出的所需阴极汽化表面上的改进方法及设备.在淀积室中,相对于阴极对第一阳极进行构制设置,以维持阳、阴极间的电弧.相对偏压网络维持室内第一阳极与其它导电表面或室内壁间的电位差,使离开阴极的电子被拉向第一阳极比被拉向其它表面更多.阳极在室内的方位使电子被拉向阳极,以使阴极亮点保持在所需阴极汽化表面上,维持了低电弧电流水平下电弧的稳定性.
. 主权项　.
. 一种适用于在抽空的淀积室中，利用发生于一个消耗涂层材料源阴极与一个阳极之间电弧所形成的涂层等离子体在基片上进行汽相淀积的工艺方法，该工艺方法包括：　　（ａ）对淀积室抽真空；　　（ｂ）在抽了真空的室中，建立阳极消耗涂层材料源阴极之间的第一电位差和电返回通路，此电位差足够大以保持阴极和阳极之间的电弧放电；　　（ｃ）激发所述消耗阴极和所述阳极之间的电弧；　　（ｄ）在所述抽空的室中的至少一个导电表面和所述阴极之间建立第二电位差，该电位差值稍小于所述第一电位差，其中，相对于所述阴极来说，所述阳极比所述的一个导电表面受到更正的电偏正；　　（ｆ）相对于所述消耗阴极，如此构制和设置所述淀积室中的所述阳极，使得由所述电弧从所述消耗阴极放出的电子被吸引向所述阳极会比被吸引向所述的一个导电表面更多。
.
.
中国科技资讯网
.

设为首页 | 加入收藏 | 广告服务 | 友情链接 | 版权申明