R>. 一光扫描装置,带有一辐射源,一物镜和一用以测定在扫描装置中物镜的平移位置和角度位置的平移位置和角度位置检测系统.此系统包括一个中心对着物镜且固定在物镜上的锥状环形镜,一对安置于锥状环形反射器的辐射通道中的辐敏感检测系统,还包括由一环形带隔离的两个检测器,每个分为四个象限.此扫描装置还包括一电磁系统,它有在物镜周围的一环形永久磁铁和至少六个安置于两个轴向移动平面中的磁绕组. . 主权项 . . 光扫描装置,其组成部分为:一幅射源,一用来聚焦辐射源产生的辐射光束以便在被扫描的表面上形成扫描光点的物镜,一平移位置和角度位置的检测系统,用来检测物镜沿两个正交轴的平移位置和物镜对于此两轴的角度位置,此两轴均垂直于辐射光束主射线延伸,和一驱动机构,用以平移和转动物镜,使其对应于由平移位置和角度位置检测系统提供的控制信号,其特征在于平移位置和角度位置检测系统包括一锥状环形镜其中对准物镜并固定在物镜上和一对辐射敏感的检测系统,安置在自锥状环形反射来的辐射通道上,此对辐射敏感的检测系统并包括两个检测器,由一环带隔离,每一检测器分为四个象限。
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