形成在绝缘材料上的静电潜象的无损读出<%=id%>

人：. 肖春京; 黄向阳
.
. 摘要　.
. 描述了用于无损读出在绝缘材料片或层上形成的静电潜象的方法和装置.半导体材料片或层置于与绝缘材料相当接近的位置上.形成在绝缘材料上的静电潜象在半导体材料的表面生成感应产生的表面耗尽层.当用合适波长的低强度调制光束扫描半导体时,在半导体材料上积累的电荷的位置及其分布作相应于半导体材料上感生的交流表面光电压的模拟信号读出,模拟信号的大小依赖于局部电荷密度.然后将所得到的模拟电信号数字化,处理,贮存和/或显示.
. 主权项　.
. 读出积累在绝缘体上的电荷的方法，所述绝缘体具有前表面和背面，所述方法的特征在于包括：　　ａ）备有半导体，所述半导体具有前表面和背面，　　ｂ）将所述半导体置于离所述绝缘体足够近之处，以使得在所述半导体中感应耗尽层，所述耗尽层同所述绝缘体上积累的电荷有关，　　ｃ）探测积累在半导体上的电荷的数量和位置。

.
中国科技资讯网
.

设为首页 | 加入收藏 | 广告服务 | 友情链接 | 版权申明