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    半导体装置及其制造方法<%=id%>

    坪井真三. 国. 际 申 请:..
    国. 际. 公. 布:.. 进入国家日期:..
    专利 代理 机构:.. 永新专利商标代理有限公司. 代.. 理.. 人:. 王 英
    .
    . 摘要 .
    .一种半导体装置(3),其中基本上整个沟道区(18)为局部耗尽型,包括在基板(10)的一个表面侧上设置的半导体层(14),在半导体层(14)中设置的具有第一导电类型的沟道区(18),在半导体层中设置的具有第二导电类型的高浓度扩散区(28、30),该高浓度扩散区与沟道区相邻,面向沟道区的两侧,并且相互分离,与沟道区(18)连接以固定沟道区(18)电位的具有第一导电类型的体端子(32),在沟道区(18)上设置的绝缘体(34),设置在绝缘体(34)上以覆盖沟道区(18)的栅极电极(36),以及布置在沟道区的端部(22)以及也在半导体层(14)的端部并且其中包含具有第一导电类型的杂质的沟道边缘部分。
    . 主权项  .
    .1、一种半导体装置,其特征在于包括: 在基板的一个表面侧上设置的半导体层; 在所述半导体层中设置的具有第一导电类型的沟道区; 在该半导体层中设置的具有第二导电类型的高浓度扩散区,所述高浓度扩散区与所述沟道区相邻,面向所述沟道区的两侧,并且相互分离; 具有第一导电类型的体端子,该端子与所述沟道区连接以固定所述沟道区的电位; 在所述沟道区上设置的绝缘体; 设置在所述绝缘体上以覆盖所述沟道区的栅极电极;以及 布置在所述沟道区的端部同时也是布置在所述半导体层的端部,并且其中包含具有第一导电类型的杂质的沟道边缘部分。.
    .

         

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