上部电极、等离子体处理装置和等离子体处理方法<%=id%>

请(专利权)人：.. 东京毅力科创株式会社.
地......... 址：. 日本东京
发明 (设计)人：. 田中善嗣;南雅人. 国. 际申请：..
国. 际. 公. 布：.. 进入国家日期：..
专利代理机构：.. 北京纪凯知识产权代理有限公司. 代.. 理.. 人：. 龙淳
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. 摘要　.
.本发明提供一种具有温度控制性优异的冷却结构的上部电极。上部电极(11)具有：与基座(4)平行对向配置的电极板(13)；与该电极板(13)的中央上部连接配置，在内部形成有传热介质流路(15) 的温度调节板(14)；和与电极板(13)的周边部连接配置，在内部具有传热介质流路(16)的温度调节块体(17)。温度调节板(14)通过与电极板(13)的中央上部连接配置，可在与电极板(13)之间进行热交换，将在传热介质流路(15)中流动的制冷剂的冷热供给电极板 (13)而进行冷却。
. 主权项　.
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