在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置<%=id%>

-26 WO2005/046851 英进入国家日期：. 2006.05.10
专利代理机构：.. 永新专利商标代理有限公司. 代.. 理.. 人：. 王永建
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. 摘要　.
.本发明公开了一种用于制备TEM样品架(170)的样坯(100)，其包括片材(120)，所述片材包括TEM样品架模板(170)。片材 (120)至少有一部分将TEM样品架模块(170)与片材的其他部分相连。通过在压机中从样坯上切出TEM样品架模板(170)而形成TEM样品架(170)，所述切削将纳操作器探针末梢(150) 的针尖(160)与所形成的TEM样品架(170)相接合，所述探针 (150)的针尖(160)上连接有样品，用于在TEM中进行检验。
. 主权项　.
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