自由基产生方法、蚀刻方法以及用于这些方法的设备<%=id%>

15 英进入国家日期：. 2006.05.10
专利代理机构：.. 北京市中咨律师事务所. 代.. 理.. 人：. 杨晓光;李峥
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. 摘要　.
.产生自由基的方法包括以下步骤：将F2气体或F2气体与惰性气体的混合气体供给到内部具有碳材料的室中，通过对所述碳材料施加靶偏压，由所述碳材料提供碳原子，从而产生高密度的自由基，其中，当测量在所述室内部产生的自由基的红外吸收光谱时，通过控制对所述碳材料施加的所述靶偏压，任意调节CF3自由基、CF2自由基和CF自由基的比率。
. 主权项　.
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