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际 申 请：. 2004-10-28 PCT/US2004/035745
国. 际. 公. 布：. 2005-05-19 WO2005/044474 英 进入国家日期：. 2006.04.28
专利 代理 机构：.. 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司. 代.. 理.. 人：. 赵 飞
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. 摘要 .
.本发明提供了一种刷洗机箱(101)，其包括：槽(103)，适合于接收基片(W)以便对其进行清洗；支撑(107、109)，位于槽的外部并且适合于连接到设置在该槽内部的刷洗机刷(106a，106b)的端部；马达 (111)，安装到每一支撑并且适合于转动该刷洗机刷；底座，所述支撑通过球形轴承(127)枢转地安装到该底座，球形轴承适合于允许刷洗机刷前端内收；刷间隙致动器，适合于通过曲柄摇杆机构(117)使所述支撑基本上同时相向或者相背地枢转，以允许所述刷洗机刷基本上同时实现与基片的接触或断开接触；前端内收致动器，适合于使球形轴承中的两个相向或者相背地移动，以调节所述刷洗机刷之间的前端内收角。
. 主权项 .
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中国科技资讯网
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