定向束的等离子体源及其到微光刻的应用<%=id%>

05/038822 法进入国家日期：. 2006.04.17
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. 摘要　.
.本发明涉及一种在发射方向上产生期望的波长范围内的辐射的方法。根据所述方法，由辐射源生成初始辐射，所述辐射源的波长包括所述期望的范围，并且以如此方式过滤所述初始辐射，以便于基本上消除具有期望的范围之外波长的初始辐射的束。本发明的方法特征在于过滤是通过在初始辐射通过其的控制区域中建立对折射率的受控分布来执行的，以此方式以便于根据其波长而选择性地使初始辐射的束偏离，并恢复具有期望波长的束。本发明还涉及一种相关设备。
. 主权项　.
.权利要求书 1.一种用于在给定的发射方向上产生期望的波长范围中的辐射的方法，其中所述方法包括： --由辐射源生成初始辐射，所述辐射源的波长包括所述期望的范围， --过滤所述初始辐射，以便于基本上消除其波长在所述期望的范围之外的初始辐射的束，特征在于所述过滤通过在由所述初始辐射穿过的控制区域中引入束的折射率的受控分布来实现，以便于根据其波长使所述初始辐射的束选择性地偏转，并恢复期望波长的束。.

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