|
|
|
|
|
|
|
|
叶市
发 明 (设计)人：. 平田雅一;大海学;柴田浩一. 国. 际 申 请：..
国. 际. 公. 布：.. 进入国家日期：..
专利 代理 机构：.. 中国专利代理(香港)有限公司. 代.. 理.. 人：. 杨松龄
.
. 摘要 .
.提供一种通过较低水平的光刻制造蝶形领结天线的方法，通过在基体上形成蚀刻掩模，形成截头四方形棱锥，掩模的形状类似截头四方形棱锥的顶表面，通过掩模材料制造的蚀刻掩模对基体进行各向同性的蚀刻。其后，通过从各表面的前方沿平行基体的方向注射真空沉积物，在截头四方形棱锥的两个相对的侧表面形成金属薄膜。
. 主权项 .
.权利要求书 1.一种制造近场光发生器件的方法，光发生器件具有设置在截头棱锥两个相对侧表面的金属膜，所述棱锥包括顶表面和4个侧表面，所述方法包括步骤： 在基体上形成形状类似于所述顶表面的蚀刻掩模； 通过用掩模材料制成的蚀刻掩模，对基体进行各向同性蚀刻得到截头棱锥； 在所述截头棱锥的两个相对的侧表面形成金属膜。.
.
中国科技资讯网
.
|
|
|
|
|
设为首页 | 加入收藏 | 广告服务 | 友情链接 | 版权申明
Copyriht 2007 - 2008 © 科普之友 All right reserved |
