制造图案化的铁电介质的方法<%=id%>

专利代理机构：.. 北京铭硕知识产权代理有限公司. 代.. 理.. 人：. 郭鸿禧;常桂珍
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. 摘要　.
.本发明提供了一种制造图案化铁电介质的方法。该方法包括：在基底上形成电极；使用至少用于制造铁电膜的前驱体在电极上形成具有预定图案的特征；源材料与前驱体特征反应，将前驱体特征转变成铁电特征。
. 主权项　.
.1、一种制造图案化铁电介质的方法，所述方法包括：在基底上形成电极

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