利用金属闪光层控制电容器界面特性的方法<%=id%>

德国慕尼黑
发明 (设计)人：. S·戈文达拉詹. 国. 际申请：..
国. 际. 公. 布：.. 进入国家日期：..
专利代理机构：.. 中国专利代理(香港)有限公司. 代.. 理.. 人：. 范赤;李连涛
.
. 摘要　.
.可以通过在衬底(例如硅)之上沉积金属闪光层(例如Ti)形成电容器。在金属闪光层之上形成电介质层(例如高K电介质)。在电介质层之上形成导电层，使得导电层容性耦接到衬底和/或金属闪光层。可以对该器件退火，使得金属闪光层改变状态，以及使得导电层和衬底和/或金属闪光层之间的电容增加。
. 主权项　.
.1.一种形成半导体器件的方法，该方法包括；提供衬底；在该衬底之上形成金属闪光层；在该金属闪光层之上形成电介质层，该电介质层具有约1nm至约40nm的厚度；在该电介质层之上形成导电层，从而将导电层电容耦合到该衬底和/或该金属闪光层；以及对该器件退火，从而该金属闪光层改变状态以及从而增加该导电层和该衬底和/或该金属闪光层之间的电容量。.
.

.
中国科技资讯网
.

设为首页 | 加入收藏 | 广告服务 | 友情链接 | 版权申明