基板处理装置、历史信息记录方法、记录程序及记录系统<%=id%>

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专利代理机构：.. 北京纪凯知识产权代理有限公司. 代.. 理.. 人：. 龙淳
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. 摘要　.
.本发明公开了一种基板处理装置，其包括多个用于处理基板的处理室以及将基板从多个处理室运入运出的输送部，包括输送历史记录部、处理历史记录部以及报警历史记录部。输送历史记录部将关于输送部输送基板的历史信息与每一基板相关联，并记录该历史信息作为第一历史信息。处理历史记录部将关于多个处理室中的每一个内的基板的处理状态的历史信息与每一被处理的基板目标相关联，并记录该历史信息作为第二历史信息。报警历史记录部将关于在输送部和处理室至少一个之内发生的报警的历史信息与每一基板相关联，并记录该历史信息作为第三历史信息。
. 主权项　.
.1、一种基板处理装置，其包括多个用于处理基板的处理室以及将该基板从该多个处理室运入运出的输送部，所述基板处理包括：输送历史记录部，其将关于所述输送部输送所述基板的历史信息与每一基板相关联，并记录关于所述基板的输送的所述历史信息作为第一历史信息；处理历史记录部，其将关于所述多个处理室中的每一个内的所述基板的处理状态的历史信息与每一要受到处理的基板相关联，并记录关于所述处理状态的所述历史信息作为第二历史信息；以及报警历史记录部，其将关于在所述输送部和所述处理室中至少一个之内发生的报警的历史信息与每一基板相关联，并记录关于所述报警的所述历史信息作为第三历史信息。.
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