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专利 代理 机构：.. 隆天国际知识产权代理有限公司. 代.. 理.. 人：. 张龙哺;郑特强
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. 摘要 .
.本发明提供一种半导体器件及其制造方法。在形成铁电电容器之后，形成与铁电电容器连接的Al布线(导电焊盘)。然后，在Al布线周围形成氧化硅膜和氮化硅膜。随后，形成Al2O3膜，作为抑制水分渗入到氧化硅膜中的防渗膜。
. 主权项 .
.1.一种半导体器件，包括： 元件； 导电焊盘，其与所述元件连接； 氧化硅膜，其形成在所述导电焊盘周围；以及 防渗膜，其抑制氢和水分渗入到所述氧化硅膜中。.
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中国科技资讯网
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