等离子体产生设备和方法以及具有可调占空因数的射频驱动电路<%=id%>

O2004/095626 英进入国家日期：. 2005.12.13
专利代理机构：.. 中国专利代理(香港)有限公司. 代.. 理.. 人：. 杨凯;陈景峻
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. 摘要　.
.公开了作为用于产生高密度等离子体的方法和系统的一部分的射频驱动电路和正交天线装置/配置。该天线装置是可由具有适当阻抗匹配、以提供低阻抗的射频发生器/电路驱动的正交天线系统，公开的射频驱动电路使用开关型放大器元件，并提供低输出阻抗。公开的低输出阻抗射频驱动电路消除了对用于和与等离子体相关联的固有阻抗变化连接的匹配电路的需要。还公开了为射频等离子体源提供调谐的电容或电感值的选择。还提供了用于以大约数十Hz到高达数百KHz的频率在两个或多个功率电平之间快速切换等离子体的方法。
. 主权项　.
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