丙烯酸系聚合物和放射线敏感性树脂组合物<%=id%>

s/line.gif" width=1>..

主分类号: 　.. .C08F220/28(2006.01)I.. 范畴分类: 　.. ...

..

分类号: 　.. .C08F220/28(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;H01L21/30(2006.01)I..

..

优先权: 　.. .2003.8.5 JP 286389/2003..

..

申请（专利权）人: 　.. .JSR株式会社..

..

地址: 　.. .日本东京..

..

发明（设计）人: 　.. .藤原考一;山口宙志;中村敦..

..

国际申请: 　.. .2004-08-04 PCT/JP2004/011143..

..

国际公布: 　.. .2005-02-10 WO2005/012374 日..

..

进入国家日期: 　.. .2006.02.27..

..

专利代理机构: 　.. .中国国际贸易促进委员会专利商标事务所..

..

代理人: 　.. .王健..

..

分案申请号: 　.. ... 国省代码: 　.. .日本;JP..

..

颁证日: 　.. ... 光盘号: 　.. .D0640-1..

..

摘要: 　..

..

本发明的目的在于提供对抗蚀剂溶剂的溶解性好，烘烤温度依赖性小，并且降低显像后的图案的线边缘粗糙度的抗蚀剂。丙烯酸系聚合物，其特征在于含有式(1)、式(2)、及式(3)和/或式(4)。其中，R、R′、R″与R″′表示氢原子、甲基或三氟甲基，R¹表示氢原子、C_1-4 的直链状或支链状的烷基、烷氧基、或C_1-4的直链状或支链状的氟代烷基，X表示C_7-20的由碳原子与氢原子构成的多环型脂环式烃基，R² 与R³相互独立地表示C_1-4的直链状或支链状的烷基，R⁴表示C_4-20的脂环式烃基，R⁵表示C_1-4的直链状或支链状的烷基，R⁶与R⁷分别表示氢原子、或C_1-4的直链状或支链状的烷基。　..

..

主权项: 　..

..

1.丙烯酸系聚合物，其含有式(1)所示的重复单元(i)、式(2) 所示的重复单元(ii)、及含有选自式(3)所示重复单元和式(4)所示重复单元的至少一个重复单元(iii)的含有酸解离性基团的单元，式(1)～式(4)中，R、R′、R″与R分别表示氢原子、甲基或三氟甲基，式(1)中，R1表示氢原子、C1-4的直链状或支链状的烷基、C1-4的直链状或支链状的烷氧基、或C1-4的直链状或支链状的氟代烷基，式(2)中，X表示C7-20的由碳原子与氢原子构成的多环型脂环式烃基，式(3)中，R2与R3相互独立地表示C1-4的直链状或支链状的烷基， R4表示C4-20的脂环式烃基，式(4)中，R5表示C1-4的直链状或支链状的烷基，R6与R7分别表示氢原子、或C1-4的直链状或支链状的烷基，n表示3～7的整数。..

中国科技资讯网
.

设为首页 | 加入收藏 | 广告服务 | 友情链接 | 版权申明