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压电元件、致动器装置、液体喷射头和液体喷射设备<%=id%> |
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BR>专利 代理 机构:.. 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司. 代.. 理.. 人:. 柳春雷 . . 摘要 . .本发明提供了表现出优异位移特性的压电元件、致动器装置、液体喷射头和液体喷射设备,所述压电元件由下电极、压电层和上电极构成,并 . 主权项 . .1.一种压电元件,包括: 下电极; 压电层;和 上电极, 其中,当通过宽角X射线衍射法测量所述压电层的面表面时,<100> 面的半高宽不大于0.2度,且<200>面的半高宽不小于0.25度。. .
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