适合作为酸发生剂的盐以及含有这种盐的化学放大的抗蚀组合物<%=id%>

. 进入国家日期：..
专利代理机构：.. 中国专利代理(香港)有限公司. 代.. 理.. 人：. 张轶东;黄可峻
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. 摘要　.
.本发明提供一种式(I)的盐：其中环Y代表含有3-30个碳原子的单环或多环烃基，其中一个-CH2-基团被 -COO-基团取代，以及单环或多环烃基中的至少一个氢原子任选地被含有1-6 个碳原子的烷基、含有1-6个碳原子的烷氧基、含有1-4个碳原子的全氟烷基、含有1-6个碳原子的羟基烷基、羟基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地代表氟原子或含有1-6个碳原子的全氟烷基；A+代表有机抗衡离子；n表示0- 12的整数。本发明还提供含有式(I)盐的化学放大的抗蚀组合物。
. 主权项　.
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