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其中具有嵌入式电容器的印刷电路板及其制造方法<%=id%> |
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请:.. 国. 际. 公. 布:.. 进入国家日期:.. 专利 代理 机构:.. 北京集佳知识产权代理有限公司. 代.. 理.. 人:. 杨生平;杨红梅 . . 摘要 . .所公开的是一种其中具有嵌入式电容器的印刷电路板,包括:双面覆铜叠层,包括形成在其外层中的第一电路层,所述第一电路层包括底电极以及电路图案;电介质层,通过借助原子层沉积在所述第一电路层上沉积氧化铝膜而形成;第二电路层,形成在所述电介质层上并且包括顶电极以及电路图案;一面覆铜叠层,形成在所述第二电路层上;盲过孔和通孔,形成在一面覆铜叠层的预定部分中;以及形成在所述盲过孔和通孔中的镀层。也公开了所述印刷电路板的制造方法。 . 主权项 . .1.一种用于制造其中具有嵌入式电容器的印刷电路板的方法,所述方法包括以下步骤: (a)在双面覆铜叠层的外层中形成包括底电极及电路图案的第一电路层; (b)通过原子层沉积(ALD)在所述第一电路层上沉积氧化铝 (Al2O3)膜以在其上形成电介质层; (c)在所述电介质层上形成包括顶电极及电路图案的第二电路层; (d)在所述第二电路层上沉积一面覆铜叠层; (e)在所述一面覆铜叠层的预定部分中形成盲过孔和通孔;以及 (f)镀所述盲过孔和所述通孔以在所述层之间形成连接。. .
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