功能液滴喷头的初期填充方法及其初期填充装置<%=id%>

国. 际申请：..
国. 际. 公. 布：.. 进入国家日期：..
专利代理机构：.. 中科专利商标代理有限责任公司. 代.. 理.. 人：. 李香兰
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. 摘要　.
.本发明的功能液滴喷头(3)的初期填充方法，是在向工件喷出功能液滴的功能液滴喷头(3)的喷头内流路中初期填充由功能液或该功能液的溶剂构成的填充液(68)的功能液滴喷头(3)的初期填充方法，具备：将与喷头内流路相连的功能液滴喷头(3)的功能液导入口(51)密封的密封工序、在贮存于密闭容器(71)中的填充液(68)中浸渍功能液滴喷头(3)的浸渍工序、将密闭容器(71)的内部减压至给定的真空度而将密闭容器(71)内的气氛气体排出的减压工序、在减压工序之后恢复密闭容器(71)的内部压力的复压工序。
. 主权项　.
.1.一种功能液滴喷头的初期填充方法，在向工件喷出功能液滴的功能液滴喷头的喷头内流路中初期填充由功能液或所述功能液的溶剂构成的填充液，其特征是，具备：对与所述喷头内流路相连的所述功能液滴喷头的功能液导入口进行密封的密封工序、在贮存于密闭容器中的所述填充液中浸渍所述功能液滴喷头的浸渍工序、将所述密闭容器内的气氛气体排出而将所述密闭容器的内部减压至给定的真空度的减压工序、在所述减压工序之后恢复所述密闭容器内部的压力的复压工序。.
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中国科技资讯网
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