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任公司. 代.. 理.. 人：. 柳春雷
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. 摘要 .
.一种制造致动器器件的方法，包括如下步骤：在衬底的一个表面上形成振动板；和在所述振动板上形成压电元件，所述压电元件中的每一个包括下电极、压电层和上电极，并且其中，所述形成振动板的步骤包含绝缘膜形成步骤，所述绝缘膜形成步骤至少包括：膜形成步骤，用于在所述衬底的所述一个表面上形成锆层；以及热氧化步骤，用于在预定的热氧化温度下热氧化所述锆层，以形成包括氧化锆层的绝缘膜并且同时调整所述绝缘膜的应力。
. 主权项 .
.1.一种制造致动器器件的方法，包括如下步骤： 在衬底的一个表面上形成振动板；和 在所述振动板上形成压电元件，所述压电元件中的每一个包括下电极、压电层和上电极，并且 其中，所述形成振动板的步骤包含绝缘膜形成步骤，所述绝缘膜形成步骤至少包括：膜形成步骤，用于在所述衬底的所述一个表面上形成锆层；以及热氧化步骤，用于在预定的热氧化温度下热氧化所述锆层，以形成包括氧化锆层的绝缘膜并且同时调整所述绝缘膜的应力。.
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