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在集成电路基板上选择性地形成凸起的方法及相关的结构<%=id%> |
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2004/075265 英 进入国家日期:. 2005.10.18 专利 代理 机构:.. 中国专利代理(香港)有限公司. 代.. 理.. 人:. 肖春京 杨松龄 . . 摘要 . .在上面有金属层(23)的基板上形成凸起可能包括在此基板上形成阻挡层(27)和在此阻挡层上形成导电凸起(35)。此外,该阻挡层可能处于导电凸起和基板之间,且导电凸起(35)可与金属层(23) 横向偏移。在形成导电凸起之后,可从金属层除掉阻挡层,以使金属层(23)外露,而同时保持处于导电凸起和基板之间的一部分阻挡层。另外还讨论了一些相关的结构。 . 主权项 . .1.一种在上面有金属层的基板上形成凸起的方法,包括: 在包含金属层的基板上形成阻挡层; 在阻挡层上形成导电凸起,其中阻挡层处在导电凸起和基板之间,且导电凸起与金属层有偏移;及 在形成导电凸起之后,从金属层上去除至少一些阻挡层,从而使金属层外露,同时保留导电凸起和基板之间的一部分阻挡层。. .
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