制造原子分辨存储器件的光滑表面的结晶相变层的方法<%=id%>

;张志醒
摘要
　一种形成结晶的、表面保持原子级光滑的相变层(100)的方法；以及，按此方法制造的一种原子级光滑的、结晶的相变层(100)。该方法包括：在基片(60)上形成相变层(80)，在相变层(80)上形成厚罩层(90)，将相变层(80)从非晶相改变为结晶相，去除厚罩层(90)，和在相变层(100)上形成薄罩层(110)。
主权项
　权利要求书 1.一种制备数据存储介质(20)的方法，该方法包括：在基片(60)上形成相变层(80)；在相变层(80)上形成厚罩层(90)；相变层(80)从第一相变为第二相；去除厚罩层(90)；以及在相变层(100)上形成薄罩层(110)。

设为首页 | 加入收藏 | 广告服务 | 友情链接 | 版权申明