平整表面的组合物及方法<%=id%>

国际申请： CT/US00/31654 2000.11.15
国际公布： WO01/36555 英 2001.5.25
进入国家日期： 2002.05.15
专利代理机构：北京市柳沈律师事务所
代理人：宋莉;贾静环
摘要
　提供一种平整或抛光表面的组合物及以该组合物平整或抛光表面的方法。此组合物包含约5－90重量％发烟金属氧化物及约10－95重量％磨蚀粒子，其中约90％或更多磨蚀粒子(以数目为基准)的粒径不超过100毫微米。本发明组合物可以高抛光效率、均匀度及去除率和最少缺陷，如最少下层结构及地形上的场损失用于平整或抛光表面。
主权项
　权利要求书 1.一种平整或抛光表面的组合物，其包含(a)液态载体及(b)包含约5-90 重量％发烟金属氧化物及约10-95重量％磨蚀粒子的固体，其中约90％或更多磨蚀粒子(以数目为基准)的粒径不超过100毫微米。

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