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分 类 号：
05B7/04 05D3/04
颁 证 日：
优 先 权：
1999.11.26 JP 336321/1999
申请(专利权)人：
旭硝子株式会社
地 址：
日本东京
发 明 (设计)人：
小岛弦;增茂邦雄;高桥亮;浅利悟郎
国 际 申 请：
CT/JP00/08341 2000.11.27
国 际 公 布：
WO01/38003 日 2001.5.31
进入国家日期：
2002.05.24
专利 代理 机构：
上海专利商标事务所
代 理 人：
胡烨
摘要
本发明的特征是，对在50℃·1气压下为气体、但在50℃·100气压以下的压力下可液化的介质进行加压液化，然后在惰性氛围气中向基板喷射在该液化介质中溶解或分散有机材料而获得的混合材料对基板进行有机材料的喷镀；或者使具有50℃以下临界温度和100气压以下临界压力的介质处于超临界状态，然后在惰性氛围气中向基板喷射在此介质中溶解或分解有机材料而获得的混合材料对基板进行有机材料的喷镀。
主权项
权利要求书
1.有机材料的制膜方法，其特征在于，对在常温·1气压下为气体、但在
常温·100气压以下的压力下可液化的介质进行加压液化，使有机材料溶解或
分散于液化后的介质中，然后，在惰性氛围气中向基板喷射所得混合材料对基
板进行有机材料的喷镀。
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