发热电阻器膜、记录头用基体、记录头和记录装置<%=id%>

分类号： 41J2/14
颁证日：
优先权： 2001.10.22 JP 323431/2001
申请(专利权)人：佳能株式会社
地址：日本东京
发明 (设计)人：田村清一;门间玄三;早川幸宏;川崎喜范
国际申请：
国际公布：
进入国家日期：
专利代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：陈昕
摘要
　本发明提供对于反复脉冲通电具有耐久性十分高的发热电阻器膜，以及使用了发热电阻器膜的记录头用基体、记录头和记录装置。在记录头用基体的热作用部(17)，通过布线(14)流动的电流使产生热能的发热电阻器膜(13)是由薄膜电阻为200Ω/□以上400Ω/□以下的非晶质氮化硅钽构成，膜厚在30nm以上80nm以下。
主权项
　权利要求书 1.发热电阻器膜，其特征是以金属硅氮化物为主成分，薄膜电阻在200Ω/□以上400Ω/□以下、膜厚在30nm以上80nm以下。

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