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分 类 号：
C23C14/48
颁 证 日：
优 先 权：
申请(专利权)人：
哈尔滨工业大学
地 址：
150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
发 明 (设计)人：
田修波;杨士勤
国 际 申 请：
国 际 公 布：
进入国家日期：
专利 代理 机构：
哈尔滨市松花江专利事务所
代 理 人：
毕志铭
摘要
管筒状工件内表面束线离子注入装置，它涉及一种对管筒状工件内表面实施离子注入的装置，特别是对细长管内壁实施离子注入的装置。它包含离子注入机(1)、真空室(2)和偏转装置(3)，偏转装置(3)设置在工件A的内孔中，偏转装置(3)包含有产生与离子束飞行方向相反电场的轴向电极(3-1)和接地电极(3-2)，以及设置在轴向电极(3-1)和接地电极(3-2)之间的径向电极(3-3)，轴向电极(3-1)和接地电极(3-2)与工件A的轴线相垂直，在接地电极(3-2)上开有一个使离子束射向轴向电极(3-1)的孔(3-4)，径向电极(3-3)与工件A的轴线相互平行。该装置彻底解决了细长管工件内表面的离子注入问题。
主权项
权利要求书
1、管筒状工件内表面束线离子注入装置，它包含有离子注入机(1)
和真空室(2)，其特征在于它还包含有一个使离子注入机(1)发出的离子束
在管筒形的工件A的内孔中发生偏转的偏转装置(3)，偏转装置(3)设置
在工件A的内孔中，偏转装置(3)包含有产生与离子束飞行方向相反电场
的轴向电极(3-1)和接地电极(3-2)，以及设置在轴向电极(3-1)和接地电极
(3-2)之间的径向电极(3-3)，轴向电极(3-1)和接地电极(3-2)与工件A的轴
线相垂直，在接地电极(3-2)上开有一个使离子束射向轴向电极(3-1)的孔
(3-4)，径向电极(3-3)与工件A的轴线相互平行。
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