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氢气氛中使用感应加热钼坩埚提拉法生长蓝宝石晶体<%=id%> |
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分 类 号:
C30B15/00;C30B29/20
颁 证 日:
优 先 权:
申请(专利权)人:
深圳市淼浩高新科技开发有限公司;李明远
地 址:
518102广东省深圳市宝安西乡镇铁岗水库宝安桃花源科技创新园内
发 明 (设计)人:
李明远
国 际 申 请:
国 际 公 布:
进入国家日期:
专利 代理 机构:
代 理 人:
摘要
氢气氛中使用感应加热钼坩埚提拉法生长蓝宝石晶体包括如下步骤:a、设置一个高温、恒温环境的保护和与晶体生长相适应的气体气氛环境保护的晶体生长真空室;b、中频感应加热钼坩埚的温场装置;c、使用还原性气氛保护气体—氢气;d、晶体生长的提拉装置;e、控制生长晶体等径的电子秤测量系统;f、使用由电子束提纯后的Al2O3原材料。
主权项
权利要求书
1、氢气氛中使用感应加热钼坩埚提拉法生长蓝宝石晶体
其特征在于:
a、设置一个高温、恒温环境的保护和与晶体生长相适应的气体气氛环
境保护的晶体生长真空室;
b、中频感应加热钼坩埚的温场装置;
c、使用还原性气氛保护气体—氢气;
d、晶体生长的提拉装置;
e、控制生长晶体等径的电子秤测量系统;
f、使用由电子束提纯后的Al2O3原材料
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