具有带着探测颗粒流动探测器的固体颗粒喷管的涂层除去系统以及相应的方法<%=id%>

分类号： 44D3/16
颁证日：
优先权： 1999.11.30 US 09/451,284
申请(专利权)人：闪光技术公司
地址：美国密苏里州
发明 (设计)人：斯坦利·A·劳顿;约翰·D·凯利
国际申请： CT/US00/42499 2000.11.30
国际公布： WO01/66365 英 2001.9.13
进入国家日期： 2002.06.28
专利代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：张金熹
摘要
　提供了一种从基板除去涂层的设备，包括一个具有一个出口和适于以预定流率引导颗粒流通过的喷管，一个用于发射能够横跨颗粒流信号的信号源，以及一个信号传感器，其位置在一旦信号通过颗粒流时可探测到由信号源发射的信号。引导颗粒流从喷管出口指向基板上的涂层，从基板除去涂层。因为信号源发射的信号在被探测之前横跨颗粒流，由信号传感器探测的信号强度相应于颗粒流的流率，使得由信号传感器探测到的信号强度的后续变化指示出颗粒流的流率变化。还提供了在用于从基板除去涂层的设备中监测颗粒流动的一种方法。
主权项
　权利要求书 1.一种从基板除去涂层的设备；上述设备包括：一个具有一个出口和适于以预定流率引导颗粒流通过的喷管，引导颗粒流从喷管出口指向基板上的涂层，从基板除去涂层；一个用于发射能够横跨颗粒流信号的信号源；以及一个信号传感器，其位置在一旦信号通过颗粒流时可探测到由信号源发射的信号，信号传感器适于探测到相应于颗粒流流率的信号强度，使得由信号传感器探测到的信号强度的后续变化指示出颗粒流的流率变化。

设为首页 | 加入收藏 | 广告服务 | 友情链接 | 版权申明