喷涂沉积大面积均匀透明导电薄膜扫描装置<%=id%>

分类号： 05B13/00 05B15/00 05D1/02;C03C17/23
颁证日：
优先权：
申请(专利权)人：上海交通大学
地址： 200030上海市华山路1954号
发明 (设计)人：周之斌;崔容强;蔡燕晖;丁尔峰
国际申请：
国际公布：
进入国家日期：
专利代理机构：上海交达专利事务所
代理人：王锡麟
摘要
　喷涂沉积大面积均匀透明导电薄膜扫描装置属于太阳能应用领域。完成加热过程和喷涂过程的主单元、完成退火功能的辅助单元、具有预加热功能的辅助单元依次并列或L形排列，具有预加热功能的辅助单元位于完成加热过程和喷涂过程的主单元一侧，完成退火功能的辅助单元位于完成加热过程和喷涂过程的主单元的另一侧，由机械手完成玻璃衬底在各单元之间的传输，主单元包括：衬底加温部分、喷头部分，这两部分是相互分离的。采用本发明得到的 O₂透明导电薄膜的方块电阻可达4Ω/口，透过率达90％，薄膜中心和边缘的膜厚、电学性质不均匀度小于10％，采用衬底加温部分与喷头部分(二)配合的装置可获得膜厚、电学性质不均匀度小于5％的超均匀的透明导电薄膜。
主权项
　权利要求书 1、一种喷涂沉积大面积均匀透明导电薄膜扫描装置，主要包括：完成加热过程和喷涂过程的主单元(1)，其特征在于还包括：完成退火功能的辅助单元 (2)、具有预加热功能的辅助单元(3)，这三个单元依次并列或L形排列，具有预加热功能的辅助单元(3)位于完成加热过程和喷涂过程的主单元(1)一侧，完成退火功能的辅助单元(2)位于完成加热过程和喷涂过程的主单元(1) 的另一侧，退火辅助单元(2)和具有预加热功能的辅助单元(3)为多层，玻璃衬底(4)放置在衬底托盘上，由机械手完成玻璃衬底(4)在各单元之间的传输，或者只采用一个完成加热过程和喷涂过程的主单元(1)，完成加热过程和喷涂过程的主单元(1)包括：衬底加温部分(5)、喷头部分(6)或(7)，这两部分是相互分离的，可作相对运动。

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