保护胶片及附设保护胶片的光罩的制造方法<%=id%>

分类号： G03F7/20;H01L21/027
颁证日：
优先权： 2001.10.31 JP 2001－334312
申请(专利权)人：三井化学股份有限公司
地址：日本东京都
发明 (设计)人：藤田稔;中川广秋
国际申请：
国际公布：
进入国家日期：
专利代理机构：北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：戈泊;程伟
摘要
　本发明提供了一种可以减少检查次数，并且于光罩贴上保护胶片后，能够将保护胶片予以剥离而再次使用的保护胶片及附设保护胶片的光罩的制造方法。依本发明，于保护胶片框10一边的端面11张设保护胶片膜12，于另一边的端面13设置黏接层14，使主衬片21的一部分23露出副衬片22的外面而被叠设，副衬片22直接贴附于黏接层14的同时，主衬片21的一部分23也露出副衬片22的外面，直接贴附于黏接层14。保护胶片1黏贴于光罩之际，剥离主衬片21而将保护胶片1暂时黏贴于光罩，于该状态下进行检查，若检查合格则剥离副衬片22而予以真正黏贴。若检查不合格则自光罩上将保护胶片1剥离并予以再利用。
主权项
　权利要求书 1.一种保护胶片，其特征在于：于中央具有开口部的保护胶片框的一边的端面张设保护胶片膜，于另一边的端面设有黏接层，于黏接层上黏贴至少2片以上的衬片，自黏接层上将各衬片分别予以剥离而露出黏接层。

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