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王忠忠
摘要
本发明公开了一种用于测定动子(50)位置的微机电系统(MEMS)装置(10)。该MEMS装置(10)具有一与动子层(40)相连的底层(20)。该动子层(40)通过屈曲部分(80)与动子(50)相连。动子(50)相对于动子层(40)和底层(20)移动。该屈曲部分(80)促使该动子(50)回到力学平衡的初始位置。该屈曲部分(80)包括一些耦合块(100)来控制该动子(50)的移动。该MEMS装置(10)通过测定安置在该屈曲部分(80)的耦合块(100)上的动子电极(102)与安置在相邻层(20，30)上的相反电极(92)之间的电容来测定该动子(50)的位置。该耦合块(100)按与该动子(50)的一可测定关系移动。当该耦合块(100)移动时，该动子电极(102)与相反电极(92)之间的电容就发生变化。电容检测器(96)对该电极之间的电容进行分析就可测定出该动子(50)的位置。
主权项
权利要求书 1.一种在微机电系统(MEMS)装置(10)中测定动子(50)位置的系统，该系统包括：动子层(40)；动子(50)，它能相对于该动子层(40)移动；屈曲部分(80)，它将该动子(50)与该动子层(40)连接起来，该屈曲部分包括一动子电极(102)；及相反电极(92)，能与该动子电极(102)一起产生一电容，其中，该动子(50)移动就会引起该动子电极(102)相对于该相反电极(92) 移动。
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