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    制备硅烷的方法<%=id%>
    BR>　 本发明公开了一种制备通式1所示的硅烷的方法：RaSiHbCl4－a－b (1)式中R是甲基或乙基，a是0、1、2或3以及b是0或1，所述的方法采用氯化氢气体和选自如下的反应物进行反应，从而制得所述的硅烷：a)硅金属及b)乙硅烷及低聚硅烷，其各个基团选自H、R及Cl；其中，所述的氯化氢气体是由H2及Cl2在同一方法步骤内制得的。
    主权项
    　 权利要求书 1、一种制备通式1所示的硅烷的方法： RaSiHbCl4-a-b (1) 式中 R是甲基或乙基， a是0、1、2或3以及 b是0或1，所述的方法采用氯化氢气体和选自如下的反应物进行反应，从而制得所述的硅烷：硅金属以及乙硅烷及低聚硅烷，其各个基团选自H、R及Cl；其中，所述的氯化氢气体是由H2及Cl2在同一方法步骤内制得的。
         

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