用于加热衬底的方法<%=id%>

曾祥凌;林长安
摘要
　本发明涉及一种用于加热衬底的方法和装置，其中要被涂覆的衬底的要被涂覆的表面被放置在加热装置上，所述加热装置用玻璃陶瓷板盖住，并具有和所述衬底匹配的槽，所述衬底从下方被加热到进行涂覆所需的处理温度，以及所述衬底从加热装置上被除去，并被引入涂覆室内进行涂覆。按照本发明的装置用于加热衬底，特别是玻璃衬底，所述衬底随后被涂覆。
主权项
　权利要求书 1.一种用于加热衬底的方法，其中 a)要被涂覆的衬底的要被涂覆的表面被放置在加热装置上，所述加热装置用玻璃陶瓷板盖住，并具有和所述衬底匹配的槽， b)所述衬底从下方被加热到进行涂覆所需的处理温度，以及 c)所述衬底从加热装置上被除去，并被引入涂覆室内进行涂覆。

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