电容式湿敏元件<%=id%>

所属分类：	电子微电子	项目来源：	其他
技术持有方姓名：	哈尔滨建筑大学	所在地域：	黑龙江
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	电容式湿敏元件是在玻璃基板上蒸金、刻蚀出下电极，再在下电极上面涂敷一薄层改性的聚酰亚胺感湿膜，在膜的上面蒸上透湿的金质上电极，焊出引线，便形成能进行湿——电转换的电容式湿敏元件。蒸金、刻蚀等为半导体平面工艺，是较为成熟的技术，该项技术的关键是高分子感湿膜的制作，包括膜液配制、成膜工艺及变定工艺等。掌握好制膜条件，所制作的湿敏元件，既具有优越的感湿效果，又具有持久的长期稳定性。这种感湿元件具有测湿范围宽、准确度高、响应速度快、不怕水浸等特点，是目前世界上用于湿度检测与控制的较为理想的湿——电转换元件。组织鉴定单位：黑龙江省电子工业厅时间：1997年4月29日电容式湿敏元件推广应用前景十分广阔，可用于生活、生产、科研等各领域中。