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| 所属分类： |
电子微电子 |
项目来源： |
自创 |
| 技术持有方姓名： |
北京清华大学精密仪器与机械学系测试教研组 |
所在地域： |
北京 |
| 是否中介： |
否 |
是否重点项目： |
否 |
技术简介：
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本项目为国家"八五"重点科技攻关项目，1995年11月30日通过鉴定，认为该成果达到世界同类产品先进水平，国内领先，获电子行业“八五”科技攻关重大成果奖。一台已用于华越微电子公司的生产线上。1.测量范围：正负16微米，正负160微米；2.分辨率：垂直方向正负16微米时为0.5nm，正负160微米时为5nm；3.微机控制与数据处理，测试数据与图像显示，打印输出；4.MTBE：500小时；MTTR：2小时。 |
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