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    金刚石膜制备技术<%=id%>

    所属分类： 电子微电子 项目来源： 自创
    技术持有方姓名： 杭州大学科技处 所在地域： 浙江
    是否中介： 否  是否重点项目： 否 
    技术简介：
    		开发了在低温（＜950度）低压（＜十分之一大气压）下，用热解化学气相沉积（CVD）或电子增强CVD技术生长金刚石膜。
         

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