高精度高分辨双频激光干涉仪<%=id%>

所属分类：	激光	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	西安理工大学	所在地域：	陕西
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	高精度高分辨双频激光干涉仪由横向或纵向塞曼稳频激光器、干涉系统、光电信号处理锁相倍频、鉴相细分、接口电路及专用计算机构成，可用于动态及静态长度、小角度、平直度、速度等参量的超精密测量，为航空航天等精密加工，特别是大规模集成电路的生产提供了测量技术保证，该仪器分鉴相型和锁相鉴频两种，其中鉴相型已达到产品化。这是一种nm级的双频激光干涉仪，它的研究成功填补了中国高精度(nm级)，大量程(0-500mm)激光干涉仪的空白，技术指标均属国内领先，同时达到国际先进水平。使用范围及市场预测：可用于航空、航天等领域中的超精密加工，高精度大量程器具的规定，特别是对大规模集成电路的生产提供了测量技术保证。投产条件及效益分析：具有光、机、电生产条件即可生产。服务方式：提供产品和技术服务。