飞秒激光在金属薄膜上制备周期性微结构的方法<%=id%>

所属分类：	激光	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院上海光学精密机械研究所	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	将由钛宝石飞秒激光器产生的一束光分成两束，经透镜聚焦实现时间和空间上的相干迭加，作用于沉积在石英、普通玻璃或硅基体上的金属（金、铬、铜、铝和银等）薄膜上，控制激光的脉宽、脉冲频率和单脉冲能量，使之可烧蚀金属薄膜而不破坏基体。该专利通过固定干涉的激光束，利用计算机操纵的三维平台控制样品的移动，从而制备出金属薄膜的周期性微结构。