纳米炭材料场致发射性能测试装置<%=id%>

所属分类：	测量测试	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院金属研究所	所在地域：	辽宁
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该实用新型专利是一种纳米炭材料场致发射性能的测试装置，涉及场致发射性能测试技术。该装置包括：真空室、真空获得系统、样品传递系统、样品定位系统、I-V测试系统。其真空室为球形，通过闸板与真空获得系统中溅射离子泵相连，测试阳极通过引芯电极B导出真空室外至灵敏电流计，测试样品作为阴极通过引芯电极A与直流高压电源低电位端相连；样品传递系统由真空预抽室、磁性传递直和样品台组件组成，磁性传递杆一端安装在真空预抽室里，真空预抽室与真空获得系统相连，并与真空室通过隔离闸板阀相通；负载样品的样品台组件设置于真空室内，与安装在真空室正上方的样品定位系统相连。该装置在更换样品过程中不直接暴露于大气环境，适用范围广，操作方便。