桥形薄膜电极多元红外探测器<%=id%>

所属分类：	测量测试	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院上海技术物理研究所	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该实用新型专利是一种桥形薄膜电极多元红外探测器。该探测器包括衬底，与衬底牢固结合的碲镉汞外延薄膜材料P型和N型构成的P-N结，在光敏元信号引出端置上铟层。另外，用一有机薄膜，在其一表面镀上金属薄膜，光刻成条状金属薄膜引线，作引出电极，利用倒焊互联技术，使其与光敏元件电学连接。该实用新型专利可用于蹄镉汞MBE、LPE等薄膜材料制备的多元红外探测器的正照射工作方式的电极引出。其优点在于电极引出过程对探测器光敏元的影响小，寄生电容小，且无需特殊制备延伸电极。