静电叠层式兰姆波微型传感器<%=id%>

所属分类：	控制调节	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	所在地域：	吉林
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该实用新型专利涉及对兰姆波微传感器的改进，可用于对液体或气体蒸汽等微质量变化的测量。它由衬底、薄膜、金属层、凸台、接收窗口、叉指电极、齿状支撑、衬底等组成。该传感器采用常规的体硅工艺，不需特殊工艺便可制造。由于该专利采用薄膜、金属层、凸台、齿状支撑和叉指电极的结构，提供了一种体积小、重量轻、成本低、质量稳定、寿命长的叠层式静电驱动兰姆波微型传感器。它可用于压力、加速度测量，适用于生物、化学、环境等许多领域。