微型可调谐红外滤光器<%=id%>

所属分类：	控制调节	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院长春学精密机械与物理研究所	所在地域：	吉林
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该微型可调谐红外滤光器属于微光学器件，包括衬底、光栅固定端、光栅主体、光栅滑动端、驱动器、驱动器引线、驱动器电极、线圈、空气隙、铁芯等。该专利采用准LIGA技术，工艺简单、成本低、效率高。它用典型的三维微细加工技术将可调谐光栅与驱动器集成制作在同一衬底上，不需装配对准，便于制成微光电机械系统芯片。这种微型可调谐红外滤光器，可用于微重量测试的电子秤、压力传感器、加速度传感器、应变/温度测试仪及位移传感器等。可用于遥感探测、太阳光谱、热辐射探测、空间科学、环境科学、光纤通信等领域。