单模光纤探针式轮廓仪<%=id%>

所属分类：	测量测试	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	天津大学	所在地域：	天津
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	此项研究受国家自然科学基金支持，已完成了单模光纤探针式轮廓仪的基本理论，仪器构成的基本原理，并完成了单模光纤探针式轮廓仪原始样机一台，并实现了智能化，测试自动化。该仪器主要用于表面粗糙度的非接触测量，特别是分辨率较高的▽7-▽14范围内的粗糙度测量。不仅可以测量金属表面粗糙度，而且可以测量有色金属（金、镀铜、铝、铬等）和光电子技术中应用的薄膜光学材料、半导体材料、高科技陶瓷材料等的表面粗糙度，用途广泛。技术原理及工艺流程：主要利用单模光纤探针的光信号被材料表面轮廓形状调制的原理来实现表面粗糙度的测量，这种调制体现在光纤探针与被测表面之间在光信号上的耦合效率发生变化。光信号的流程及电信号的处理相当复杂，仪器的智能化和自动测试过程等无法简单表示出来。