不透明材料内部微/纳米级体缺陷的检验方法<%=id%>

所属分类：	测量测试	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	清华大学	所在地域：	北京
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	这是一种基于散射原理对不透明材料内部微/纳米级体缺陷进行检测的方法，属于无损检测领域。该检测方法用针对被检测材料透明或半透明的光源，发出波长为0.8～11.6μm的光束经小孔空间滤波后，进入聚焦系统聚为一微细光束。将此微细光束打入被测材料内部，通过三维超精密工作台移动被测材料，实现聚焦激光束焦点对材料内部各层面的扫描。将图象传感器放在与由激光器、小孔及聚焦系统构成的光轴垂直的方向上接收散射光，由散射光分布可判断材料内部有无缺陷及缺陷的大小等。采用该方法检测不透明材料，其探测微缺陷的尺度可小至纳米。