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所属分类: |
测量测试 |
项目来源: |
自创 |
技术持有方姓名: |
南京技术市场管理办公室 |
所在地域: |
上海 |
是否中介: |
否 |
是否重点项目: |
否 |
技术简介: |
四极质谱计是基于电磁学原理把真空分析室中带电分子和亚分子粒子按照质量与电荷的比值进行分离,从而测定物质的质量和含量的检测仪器,是一种综合了光、机、电等技术的高新技术产品。由于四极质谱计具有灵敏度高、分析速度快、获取信息量大、在成份分析方面综合性能好等特点,可广范用于信息产业、材料科学、空间技术、化工化学和生物医学等领域。 主要技术性能指标: 1. 质量范围:1~200u 2. 分辨能力:M/△M≥M 3. 灵敏度: 0.75×10-6A/Pa 4. 最小可检分压强: 1.33×10-11Pa 该项目在仪器结构、离子源工作方式、抗污染、电路的先进性稳定性、使用的方便性可靠性方面做了大量工作。仪器性能指标缩小了和国外同类仪器的差距,并在多家用户试用,受到用户好评。 该项目在微电子器件与电路制作过程中的质量控制、电真空器件制作过程监控、加速器运行中的残余气体分析与检漏等方面有着广范的运应用前景。该仪器即能替代进口,又能对尖端科研和传统产业改造起技术支撑作用,具有良好的推广应用价值。
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