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| 所属分类： |
测量测试 |
项目来源： |
其他 |
| 技术持有方姓名： |
大专院校 |
所在地域： |
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| 是否中介： |
否 |
是否重点项目： |
否 |
技术简介：
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主要内容：成本果用于亚微米超精加工中的质量检测，主要测量参数包括粗糙度、直线度、平面度和三维形貌等，该研究的创新点主要有：1采用双频激光分离点超外差干涉原理所研制的超精密激光测头，通过相位细分保证0.5纳米的分辨力和高的稳定性，通过共模抑制作用使轮廓高度的测量精度达到±2mm采用分离光点的探测方式，使该仪器除了可以测量表面的微视不平度之外，还可以测量微小台阶、直线度和平面度等参数，所研制的“表面微观形貌超精激光测头”已经获得国家专利。2在机械系统中，所研制的双向气浮工作台，采用花岗石静压气浮导轨和共基面结构设计，其直线度达到0.05um，实现了在大范围（40×100mm2）内进行测量，所研制的“共基面二维超精密工作台”已经获得国家专利。3在电路系统中，所研制的用于纳米级标定的电子量规计系统，在相位细分过程中，通过精密数字模块与计算机仿真技术相结合，具有自校正能力。经济效益和社会效益：表面形貌的测试是机械工程学科的一个难题，特别是对于超精密细表面化，精糙度达到0.01um(Ra)数量级时，现有测试仪器已不再适用。本研究成果为此提供了一个有效手段和设备，不仅有很高的理论意义，而且具有很高的实用价值，这样一类的超精密仪器设备，在美国等一些先进国家也不多，而且被列到禁止向中国出口的范围，所以该成果的经济效益和社会效益都是很明显的。
技术水平：该项成果属国内首创，达到国]际先进水平。应用领域：亚微米及纳米加工的检测，电子工业、光学工业中表面微词形貌的检测。
技术转让内容：表面形貌非接触式超精测头可转让给表加工部门、检测部门和研究部门。 |
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