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| 所属分类： |
仪器仪表 |
项目来源： |
自创 |
| 技术持有方姓名： |
北京清华大学 |
所在地域： |
北京 |
| 是否中介： |
否 |
是否重点项目： |
否 |
技术简介：
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本项目为国家“八五”重点科技攻关项目，1995年11月30日通过鉴定，认为该成果达到世界同类产品先进水平，国内领先；同时通过电子部验收。一台已用于华越微电子公司的生产线上。1.三维工作台：X-Y：150*150；Z:25；2.阈值：可在0-100%内任意选取；3.显微镜物镜：5*；10*；20*；50*；100*；4.自动调焦；5.精度小于等于正负0.02微米；重复精度σ=正负0.005微米；6.测量范围：2-6微米；7.微机控制与数据处理，测试数据与图像显示，打印输出；8.MTBF：600小时；MTTR:2小时。 |
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