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| 所属分类： |
仪器仪表 |
项目来源： |
自创 |
| 技术持有方姓名： |
南开大学科技处 |
所在地域： |
天津 |
| 是否中介： |
否 |
是否重点项目： |
否 |
技术简介：
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该检测仪的主要功能是直接在监视器屏幕上显示各类半导体样品表面结构缺陷的图样。用该检测仪可检测出硅片及硅外延片表面可能存在的十多种表面缺陷，如：生长管道漩锅花纹、滑移线、星形结构、杂质条纹、凸起物、水波纹、桔皮、云雾、刀痕、划道等图样，表面完好的样品在该仪器的检测投影中则观察不到条纹。该检测仪的主要特点是：
1、无损检测：只需对样品作必要的清洁处理；
2、直观：样品置样品台后，即可屏幕显示样品表面缺陷的图样。
3、有效性：能区分表面质量优良和表面有缺陷的样片，通过对样品图样的分析，可确定单晶生长，晶片加工，外延生长等工艺过程中形成的30余种表面缺陷或表面质量问题。因此，可有效地确定生产或研究工作中所出现的问题。
4、灵敏性：能分辨样品表面起伏深度10 毫微米以内的表面缺陷，对表面沾污的检测也有很高的灵敏度。
5、操作方便：不需要特别调试，无特别操作要求。
该仪器主要电器数据如下：1、电源：~220V，60W；2、氦-氖激光器，MW，632.8NM；3、平面镜均为镀铝；4、CCD摄像头：型号MTV1661CB，规格0.0.Lux600线；5、监视器：高分辨率，屏幕尺寸55CM；6、样品台：样品直径12CM，厚7MM。 |
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